半导体

日前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德（沈阳）高端装备制造产业园开工建设。该项目将聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，填补相关领域空白，未来打造成为国内领先的集研发、生产、销售于一体的半导...[详情]